產(chǎn)品詳情
產(chǎn)品應(yīng)用：
適合半導(dǎo)體前端單晶硅制作過程中硅片及晶圓盒的存放,防止硅片的返顆粒，返霧現(xiàn)象； 由于普通的干燥存儲柜或者氮?dú)夤裨O(shè)計都為全封閉環(huán)境，且無自凈功能，故內(nèi)部容易積聚大量灰塵，而這些灰塵極可能粘附在存儲品上。潔凈柜則適合存放需要避免灰塵污染的物品
產(chǎn)品特性：
★4英寸超高亮數(shù)碼管顯示，可視距離30米，可加裝氮?dú)夤?jié)約控制系統(tǒng)，可加裝報警系統(tǒng)。
★無塵風(fēng)機(jī)——采用進(jìn)口無塵室專用FFU風(fēng)機(jī)，鍍鋁鋅板材質(zhì)，鋁合金葉輪，風(fēng)速0.3-0.45m/s，噪音<=55dB。
★雙面護(hù)網(wǎng)高效過濾器——過濾效率高99.99%@0.3um。
★模組化設(shè)計，溫濕度顯示器、控制系統(tǒng)、除塵系統(tǒng)及除靜電系統(tǒng)均能快速更換， 保養(yǎng)及維修簡便，大大提升維護(hù)效率。
技術(shù)參數(shù)：
材質(zhì)：雙鏡面304不銹鋼
外尺寸： 1300W*1836H*800Dmm
內(nèi)尺寸： 1253W*1110H*650Dmm
除濕等級： 相對濕度可達(dá)到5%Rh以下 （配合充氮?dú)猓?
潔凈等級： ISO Class 2（百級） ISO Class 3（千級）
濕度顯示范圍： 0.1%RH-99.9%RH
溫度顯示范圍： -40℃-70.0℃（-9.9℃以下顯示不帶小數(shù)點(diǎn)）
溫濕度顯示器精度： 相對濕度±3%Rh，溫度±1℃
