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旋片真空泵有單級(jí)和兩級(jí)兩種版本。兩級(jí)泵的極限壓力低于單級(jí)泵。

Oerlikon Leybold 渦輪分子真空泵
機(jī)械、混合和磁懸浮高真空泵
渦輪分子真空泵用于需要清潔高真空或超高真空的應(yīng)用，例如核聚變的研究與開發(fā)，或涂層工業(yè)和分析儀器等工業(yè)領(lǐng)域。

原則上，渦輪分子泵是在殼體中快速旋轉(zhuǎn)的渦輪機(jī)，其中渦輪機(jī)的級(jí)裝有多個(gè)轉(zhuǎn)子葉片。位于旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片之間的是固定的定子盤，其葉片以相反的方向排列。

通過從旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子葉片到氣體分子的動(dòng)量傳遞，氣體分子開始非定向熱運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變?yōu)閺谋玫娜肟诜ㄌm沿軸向前真空法蘭的方向運(yùn)動(dòng)。
在分子流動(dòng)范圍內(nèi)（即在壓力低于 10-3毫巴 （0.75 x 10-3Torr）） 氣體分子的平均自由程大于轉(zhuǎn)子和定子葉片之間的間距（通常為零點(diǎn)幾毫米）。相應(yīng)地，分子主要與光學(xué)致密的轉(zhuǎn)子葉片碰撞，從而產(chǎn)生高效的泵送作用。在層流（恒定）流量范圍內(nèi)（即壓力超過 10-1毫巴 （0.75 x 10-1Torr））轉(zhuǎn)子的效果因分子本身之間的頻繁碰撞而受損。

因此，渦輪分子泵無法在大氣壓下泵送氣體。

Oerlikon Leybold TURBOVAC i
模塊化渦輪分子真空泵系列，抽速從 90 到 1450 l/s。

Leybold TURBOVAC 90 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 83 升/秒
抽速： 90 升/秒

Leybold TURBOVAC 350 i/iX
5 種變體
抽速 （Ar）： 260 升/秒
抽速： 360 升/秒

Leybold TURBOVAC 450 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 400 升/秒
抽速： 440 升/秒

Leybold TURBOVAC 250 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 210 升/秒
抽速： 250 升/秒

Leybold TURBOVAC 850 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 655 升/秒
抽速： 850 升/秒

Leybold TURBOVAC 450 iR
2 種變體

Leybold TURBOVAC 950 i/iX
4 種變體
抽速 （Ar）： 840 升/秒
抽速： 925 升/秒

Leybold TURBOVAC 850 iR
2 種變體

Leybold TURBOVAC 1450 i
8 種變體
抽速 （Ar）： 1280 升/秒
抽速： 1390 升/秒

Leybold TURBOVAC 1350 i
8 種變體
抽速 （Ar）： 1150 升/秒
抽速： 1350 升/秒

Leybold TURBOVAC 90 iR
3 種變體

Leybold TURBOVAC 950 iR
2 種變體

Leybold TURBOVAC 350 iR
2 種變體

Leybold TURBOVAC 250 iR
2 種變體