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1、光學(xué)真空鍍膜設(shè)備主要部件制造所用原材料應(yīng)符合相應(yīng)材料標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，并具有質(zhì)量證書。

二、設(shè)備零件的機(jī)械加工質(zhì)量和焊接質(zhì)量應(yīng)符合制造商技術(shù)文件的規(guī)定。

3、設(shè)備的裝配質(zhì)量應(yīng)符合制造商技術(shù)文件的規(guī)定。裝配時(shí)，應(yīng)有效清潔和干燥工作中真空部件的表面。裝配后，運(yùn)動(dòng)部件應(yīng)靈活穩(wěn)定。

4、設(shè)備涂層沉積源、離子轟擊、工件偏壓、工件加熱、膜厚監(jiān)測(cè)等設(shè)備應(yīng)逐項(xiàng)調(diào)試，性能應(yīng)符合設(shè)計(jì)要求，運(yùn)行可靠。設(shè)備應(yīng)在工件加熱過程中正常運(yùn)行。

5、設(shè)備配備的自制或采購的泵、閥、表、計(jì)等機(jī)電部件均符合相應(yīng)產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定，并應(yīng)具有質(zhì)量證書或經(jīng)廠家檢驗(yàn)部門檢驗(yàn)合格后方可使用。

六、配套設(shè)備的電氣設(shè)備的制造質(zhì)量應(yīng)符合制造商技術(shù)文化的規(guī)定，并保證設(shè)備運(yùn)行的安全可靠。裝置中線路的布置應(yīng)整齊清晰，便于維護(hù)。裝置中各電路的絕緣電阻值為500V對(duì)于501-10000，以下不得低于2V，不得低于2.5；對(duì)于1001-3000V，不得低于3.5，對(duì)于3001-10000V，不得低于6

七、設(shè)備漆面應(yīng)光滑、美觀、牢固，無剝落脫皮現(xiàn)象。

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