產(chǎn)品詳情
RGA 殘余氣體分析儀
-分子束外延 MBE
-物理氣相沉積 PVD
-化學(xué)氣相沉積 CVD
-原子層沉積 ALD
-鑒別痕跡污染物 Identification of trace contaminants
-材料滲透率測(cè)試 Material pereability test
愛(ài)柯銳（ACT）公司一直致力于質(zhì)譜研發(fā)與市場(chǎng)應(yīng)用，公司研發(fā)團(tuán)隊(duì)來(lái)自于高校、研究所和真空行業(yè)，具有十年以上的研發(fā)經(jīng)驗(yàn)。PGT系列是由專(zhuān)業(yè)團(tuán)隊(duì)自主研發(fā)的國(guó)產(chǎn)RGA。憑借對(duì)質(zhì)譜研發(fā)的深入和獨(dú)特的產(chǎn)品設(shè)計(jì)以及完善的服務(wù)體系，為不同領(lǐng)域的客戶(hù)提供完整的應(yīng)用解決方案。ACT已成為國(guó)內(nèi)多家院校和半導(dǎo)體企業(yè)的優(yōu)質(zhì)合作伙伴，并且擁有穩(wěn)定可靠的供應(yīng)商體系，儀器在兼具高質(zhì)量的應(yīng)用中具性?xún)r(jià)比，是廣大用戶(hù)的理想選擇產(chǎn)品。
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技術(shù)參數(shù) |
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型號(hào) |
PGT100F |
PGT100M |
PGT200F |
PGT200M |
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傳感器長(zhǎng)度 |
14.4cm |
19.6cm |
14.4cm |
19.6cm |
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質(zhì)量數(shù)范圍 |
100amu |
100amu |
200amu |
200amu |
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分辨率（1） |
<1amu |
<1amu |
<1amu |
<1amu |
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燈絲類(lèi)型選項(xiàng) |
涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
雙涂覆氧化釔銥絲雙燈絲/雙鎢燈絲 |
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檢測(cè)器類(lèi)型 |
FC |
EM |
FC |
EM |
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靈敏度（FC） |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
2.3E-6A/Pa |
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靈敏度（EM） |
- |
3.8A/Pa |
- |
3.8A/Pa |
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最小可檢測(cè)分壓（2） |
3.5E-10Pa |
2E-12Pa |
3.5E-10Pa |
2E-12Pa |
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最大傳感器工作溫度（FC） |
200℃ |
N/A |
200℃ |
- |
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最大傳感器工作溫度（EM） |
- |
150℃ |
- |
150℃ |
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溫度系數(shù)（3） |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
<1%/℃ |
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最大烘烤溫度 |
300℃ |
300℃ |
300℃ |
300℃ |
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最大數(shù)據(jù)速率/點(diǎn) |
2ms |
2ms |
2ms |
2ms |
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最大工作壓強(qiáng) |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
6.7E-2Pa |
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電源輸入 |
24V（DC） |
24V（DC） |
24V（DC） |
24V（DC） |
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（1）在10%峰高處 （2）駐留時(shí)間為256ms情況下 （3）在8h的時(shí)間段內(nèi)，半小時(shí)預(yù)熱后，僅FC模式 |
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尺寸 |
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